マグネトロンスパッタ真空成膜装置
CGVACマグネトロンスパッタリング真空コーティングマシンは、多産業アプリケーションのための滑らかな、均一で耐久性のあるコーティングを提供するために、技術革新と精度を兼ね備えています。CGVAC PVDコーティングマシンサプライヤーから高品質の供給、カスタム＆テクニカルサポートを提供します。.
高い均一性 - 低温 - 大面積コーティング
高い均一性 - 低温 - 大面積コーティング
CGVAC マグネトロンスパッタ真空成膜装置
CGVACマグネトロンスパッタリング真空成膜装置は、高品質、均一で耐久性のある薄膜成膜のために設計された高度なスパッタリング技術を利用しています。.
マグネトロンスパッタリングは、大面積、低温成膜を得意とし、精密で再現性の高いコーティング性能を必要とするステンレスパネル、ガラス、電子機器、光学部品に最適です。.
仕組み（動作原理）
マグネトロンスパッタリングは、荷電粒子が電界と磁界を交差させてターゲット表面に衝突する物理蒸着（PVD）プロセスである。ターゲットから放出された原子は基板上に凝縮し、緻密で均一、強固に付着したコーティング層を形成する。.
CGVACマグネトロンスパッタ真空成膜装置の利点
高いフィルム均一性
大型基板や複雑なパネル形状に最適。.
低温蒸着
プラスチックや電子部品のような熱に敏感な素材に対応。.
素材の柔軟性
チタン、クロム、アルミニウム、ジルコニウム、その他の金属に適合。.
精密なプロセス制御
高度なPLCシステムは、正確な電力とガス流量を制御する
多層フィルム対応
AF、導電性、光学フィルムが可能。.
マグネトロンスパッタ真空成膜装置の用途
当社のマグネトロンスパッタリングコーティングマシンソリューションは、装飾、光学、工業用コーティングの革新に貢献しています。お客様の産業ニーズに合わせた信頼性の高い高性能コーティング。.
ステンレス製金物・家庭用品
エレベーターおよび建築用パネル向けの均一なブラッシュ仕上げ、マット仕上げ、またはカラー仕上げ。.
エレクトロニクス＆オプティクス
導電層、AF膜、光学多層膜など、精密な厚みと再現性が要求されるもの。.
ガラス
反射防止膜、Low-E膜、装飾膜など、広い面にわたって高い均一性を実現。.
自動車用内装部品
ディスプレイ、ノブ、自動車装飾トリム用スパッタフィルム。.
カスタムマグネトロンスパッタリング真空コーティング機
CGVACのカスタムマグネトロンスパッタリング真空コーティング装置で、精密な成膜を実現しましょう！
プロセス＆コンフィギュレーション情報
| チャンバーサイズ（オプション） | Ø800mm – Ø3000mm（カスタマイズ可能） |
| 電源 | DC/中間周波数電源 |
| コーティング技術 | マグネトロンスパッタリング＋オプションのアークハイブリッド |
| 対象素材 | チタン（Ti）、クロム（Cr）、ジルコニウム（Zr）、ステンレス鋼、ITO、FTO、その他 |
| プロセスガス | アルゴン（Ar）、窒素（N₂）、酸素（O₂）、H₂（水素） |
| 利用可能なコーティング色 | ゴールド、ローズゴールド、ブラック、シルバー、ブルー、シャンパン、マット/サテンカラー、および様々な色。. |
| カスタマイズ・オプション | カスタマイズされたコーティング色、チャンバーサイズ、ターゲット材料/数、治具設計、およびプロセス計画 |
技術仕様
| ItemModel | CZ1214 | CZ1416 | CZ1618 | CZ1818 | CZ2118 |
| チャンバー寸法（D×H mm） | Ø1200×H1400 | Ø1400×H1600 | Ø1600×H1800 | Ø1800×H1800 | Ø2100×H1800 |
| 究極真空 (Pa) | ≤8×10-⁴ | ≤8×10-⁴ | ≤8×10-⁴ | ≤8×10-⁴ | ≤8×10-⁴ |
| 2×10-¹Paまでのポンピング時間（min） | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 |
| ターゲット（PCS） | 40 | 60 | 80 | 160 | 160 |
| 総出力（kW） | 50 | 60 | 80 | 110 | 120 |
| * 機器の仕様は、お客様のご要望に応じてカスタマイズすることができます。. | |||||
マグネトロンスパッタ真空成膜装置
PVD真空成膜装置の専門メーカーとして、当社の先進的なマグネトロンスパッタ成膜装置は、精密な薄膜成膜を可能にします。.
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信頼できるPVDコーティング装置メーカーとの協力
高度なエンジニアリング、安定したプロセス制御、そしてグローバルなプロジェクトサポートにより、CGVACは工場が安定した高品質のコーティングを実現するお手伝いをします。.
柔軟なカスタマイズ独自の研究開発高性能コーティング専門技術サポート
お問い合わせ
お客様の材料、用途、生産に関するニーズをお聞かせください。最適なPVDコーティング装置を設計し、お届けします。今すぐCGVACにご連絡いただき、自信を持ってコーティング能力をアップグレードしてください。.
よくあるご質問
- Q: PVDコーティング装置はどのような材料を加工できますか？
A: 衛生陶器、宝飾品・ビーズ、日用陶磁器、ステンレス鋼、ガラス、プラスチック、ならびに装飾用および機能性コーティングを目的とした電子・光学部品。.
- Q: CGVAC PVD真空コーティング機はカスタマイズできますか？
A: はい。標準仕様と完全カスタマイズ仕様の両方を提供しております。チャンバーサイズ、コーティングプロセス、処理能力、色など、あらゆる要件に対応可能です。.
- Q: 設置とトレーニングは行っていますか？
A: はい。グローバルなオンサイト設置、オペレータートレーニング、リモートテクニカルサポートを提供しています。.