機能性PVDコーティング装置

CGVACの機能的なPVDコーティングマシンは、工業用成膜のための複数の技術ソリューションを提供します。PVD真空コーティングのリーディングカンパニーとして、お客様の生産コーティングのニーズに合わせたカスタマイズ可能なシステムを提供いたします。.
カスタマイズシステム - 機能性フィルム - 産業パフォーマンス

CGVAC機能性PVDコーティングマシン

機能性PVDコーティング装置は、マルチアーク、マグネトロン、蒸着技術を組み合わせ、硬質膜、耐摩耗膜、DLC、AF膜、光学膜、保護膜などの工業用グレードの膜を成膜します。.

性能、耐摩耗性、摩擦係数、光学特性を求めるハイエンド産業に適している。.

機能性PVDコーティングマシンの利点

高性能フィルム

DLC、AF、防錆、光学、多層コーティング。.

マルチプロセス対応

アーク、スパッタリング、イオンアシスト蒸着を組み合わせる。.

広い基板互換性

金属、ステンレス、プラスチック、エンジニアリング部品。.

精密制御

ハイエンドコンポーネントの一貫した特性を維持。.

カスタムプロセス開発

特定の業種に合わせたコーティングレシピ.

機能性PVDコーティングマシンの用途

CGVACの機能的なPVD真空コーティングマシンは、エレクトロニクス、光学からジュエリー、プラティックに至るまで、産業用の信頼性の高いコーティングソリューションを提供しています。.

エレクトロニクス＆オプティクス

デバイスやレンズ用のAF、アンチグレア、導電性、光学コーティング。.

ステンレス鋼部品

高い耐久性が要求される工具、機械部品、医療器具。.

ガラス表面の機能化

スクリーンやパネル用の防指紋、疎水性、アンチグレア、保護コーティング。.

プラスチック（機能層）

モバイルシェル、スイッチ、家電製品向けの指紋防止（AF）コーティング。.

その他のCGVACマシン・アプリケーション

カスタム機能性PVDコーティングマシン

CGVACは、あなたの工業生産のニーズに合わせてカスタマイズ、色、サイズ、およびパラメータをフルPVD真空コーティング機を提供します。.

プロセス＆コンフィギュレーション情報

チャンバーサイズ（オプション）	Ø800mm - Ø2000mm（カスタマイズ可能）
電源	高出力アーク＆スパッタリング電源ユニット、DC/MF/RFハイブリッド構成
コーティング技術	マグネトロンスパッタリング, アークイオン, E-ビーム蒸着, CVD
対象素材	チタン（Ti）、クロム（Cr）、DLC / カーボンターゲット、TiAl / TiSiN、窒化クロム / 窒化チタンシステム
機能性コーティング	DLC, TCO, anti-fingerprint films; ITO, SiO₂, TiO₂ optical films; Anti-corrosion, wear-resistant, anti-reflective, conductivity coatings
カスタマイズ・オプション	Customized coating color, chamber size, target material/number, fixture design, and process plan

技術仕様

ItemModel	FC1214	FC1416	FC1618	FC1818	FC2018
チャンバー寸法（D×H mm）	Ø1200×H1400	Ø1400×H1600	Ø1600×H1800	Ø1800×H1800	Ø2100×H1800
究極真空 (Pa)	≤8×10-⁴	≤8×10-⁴	≤8×10-⁴	≤8×10-⁴	≤8×10-⁴
2×10-¹Paまでのポンピング時間（min）	＜5	＜5	＜5	＜5	＜5
* 機器の仕様は、お客様のご要望に応じてカスタマイズすることができます。.

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