マグネトロンスパッタリング真空成膜装置メーカーCGVAC

CGVAC マグネトロンスパッタ真空成膜装置

CGVACマグネトロンスパッタリング真空成膜装置は、高品質、均一で耐久性のある薄膜成膜のために設計された高度なスパッタリング技術を利用しています。.

マグネトロンスパッタリングは、大面積、低温成膜を得意とし、精密で再現性の高いコーティング性能を必要とするステンレスパネル、ガラス、電子機器、光学部品に最適です。.

仕組み(動作原理)

マグネトロンスパッタリングは、荷電粒子が電界と磁界を交差させてターゲット表面に衝突する物理蒸着(PVD)プロセスである。ターゲットから放出された原子は基板上に凝縮し、緻密で均一、強固に付着したコーティング層を形成する。.

CGVACマグネトロンスパッタ真空成膜装置の利点

高いフィルム均一性

高いフィルム均一性

大型基板や複雑なパネル形状に最適。.
低温

低温蒸着

プラスチックや電子部品のような熱に敏感な素材に対応。.
素材の柔軟性

素材の柔軟性

チタン、クロム、アルミニウム、ジルコニウム、その他の金属に適合。.
精密なプロセス制御

精密なプロセス制御

高度なPLCシステムは、正確な電力とガス流量を制御する
多層フィルム対応

多層フィルム対応

AF、導電性、光学フィルムが可能。.

マグネトロンスパッタ真空成膜装置の用途

当社のマグネトロンスパッタリングコーティングマシンソリューションは、装飾、光学、工業用コーティングの革新に貢献しています。お客様の産業ニーズに合わせた信頼性の高い高性能コーティング。.
ステンレス装飾パネル

ステンレス製金物・家庭用品

エレベーターおよび建築用パネル向けの均一なブラッシュ仕上げ、マット仕上げ、またはカラー仕上げ。.
光学用マグネトロンスパッタリング真空成膜装置

エレクトロニクス&オプティクス

導電層、AF膜、光学多層膜など、精密な厚みと再現性が要求されるもの。.
ガラスマグネトロンスパッタリング真空成膜装置

ガラス

反射防止膜、Low-E膜、装飾膜など、広い面にわたって高い均一性を実現。.
自動車部品マグネトロンスパッタリング真空成膜装置

自動車用内装部品

ディスプレイ、ノブ、自動車装飾トリム用スパッタフィルム。.

カスタムマグネトロンスパッタリング真空コーティング機

CGVACのカスタムマグネトロンスパッタリング真空コーティング装置で、精密な成膜を実現しましょう!

プロセス&コンフィギュレーション情報

チャンバーサイズ(オプション) Ø800mm – Ø3000mm(カスタマイズ可能)
電源 DC/中間周波数電源
コーティング技術 マグネトロンスパッタリング+オプションのアークハイブリッド
対象素材 チタン(Ti)、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、ステンレス鋼、ITO、FTO、その他
プロセスガス アルゴン(Ar)、窒素(N₂)、酸素(O₂)、H₂(水素)
利用可能なコーティング色 ゴールド、ローズゴールド、ブラック、シルバー、ブルー、シャンパン、マット/サテンカラー、および様々な色。.
カスタマイズ・オプション カスタマイズされたコーティング色、チャンバーサイズ、ターゲット材料/数、治具設計、およびプロセス計画

技術仕様

ItemModel CZ1214 CZ1416 CZ1618 CZ1818 CZ2118
チャンバー寸法(D×H mm) Ø1200×H1400 Ø1400×H1600 Ø1600×H1800 Ø1800×H1800 Ø2100×H1800
究極真空 (Pa) ≤8×10-⁴ ≤8×10-⁴ ≤8×10-⁴ ≤8×10-⁴ ≤8×10-⁴
2×10-¹Paまでのポンピング時間(min) <5 <5 <5 <5 <5
ターゲット(PCS) 40 60 80 160 160
総出力(kW) 50 60 80 110 120
* 機器の仕様は、お客様のご要望に応じてカスタマイズすることができます。.
その他のCGVACカスタムソリューション

信頼できるPVDコーティング装置メーカーとの協力

高度なエンジニアリング、安定したプロセス制御、そしてグローバルなプロジェクトサポートにより、CGVACは工場が安定した高品質のコーティングを実現するお手伝いをします。.
柔軟なカスタマイズ独自の研究開発高性能コーティング専門技術サポート

お問い合わせ

お客様の材料、用途、生産に関するニーズをお聞かせください。最適なPVDコーティング装置を設計し、お届けします。今すぐCGVACにご連絡いただき、自信を持ってコーティング能力をアップグレードしてください。.

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